⚙️ 产品介绍
ZYGO ZMI-4004 Dual Axis 6U VME Measurement Board 是一款用于精密测量及工业数据采集系统的双轴测量电路板，采用6U VME标准板卡结构，适用于需要高精度位置检测、运动测量及多通道数据处理的工业设备。
该产品属于ZYGO精密测量技术相关硬件，主要面向双轴测量应用，可配合相应的测量传感器、控制设备及VME总线系统使用。6U VME结构便于集成到工业计算机机箱及专用测量平台中，适合设备维护、系统升级和原有测量设备备件更换。
📋 产品基本参数
参数项目 | 详细信息 |
|---|---|
品牌 | ZYGO |
型号 | ZMI-4004 |
系列 | ZMI Measurement |
产品名称 | Dual Axis Measurement Board |
中文名称 | 双轴测量电路板 |
产品类型 | 精密测量板卡 |
总线标准 | VME |
板卡规格 | 6U |
测量轴数 | 双轴 |
主要功能 | 双轴测量及数据处理 |
安装方式 | VME机箱插槽安装 |
产地 | 以实物铭牌为准 |
产品重量 | 以实物为准 |
产品状态 | 以实际库存及检测情况为准 |
是否停产 | 暂无可靠信息 |
🔬 工作原理与技术特点
ZYGO ZMI-4004采用激光干涉测量技术，通过处理干涉仪产生的光学信号计算精密位移。系统可将光学测量信号转换为数字位置数据，供运动控制器或工业计算机进行实时处理。
需要特别注意： eBay商品标题标注Dual Axis，但ZYGO官方产品资料将ZMI 4004列为每块板卡支持4个测量轴，因此采购时建议以实物版本和原厂规格为准。
主要技术参数：
参数 | 技术规格 |
|---|---|
测量轴数 | 4轴 |
位置分辨率 | 0.15 nm（双程干涉测量） |
最大测量速度 | ±2.55 m/s |
数据速率 | 10 MHz |
位置范围 | ±10.6 m |
数据格式 | 37-bit |
输入接口 | ST光纤接口 |
参考输入 | ST光纤 / HSSDC |
总线接口 | VME |
地址方式 | A24 |
数据传输 | D16 / D32 |
板卡规格 | 6U VME |
电源要求 | +5 VDC，最大6 A |
工作温度 | 10–50°C |
工作湿度 | 0–90%，无冷凝 |
以上参数参考ZYGO ZMI 4004技术资料，具体配置可能因硬件版本而有所差异。
⭐ 产品主要优势
🔬 纳米级测量精度： 支持0.15 nm位置分辨率，满足高精度位置计量需求。
⚙️ 多轴测量能力： 单块板卡支持4个测量轴，可同步处理多通道位移数据。
🚀 高速数据处理： 10 MHz数据速率，适合高速运动测量应用。
🔌 标准VME架构： 采用6U VME板卡结构，便于集成到工业测量机箱。
📡 光学信号处理： 利用激光干涉信号进行精密位移计算。
🏭 系统扩展能力： 多块板卡组合后可扩展至最多64个测量轴。
🏭 主要应用领域
半导体晶圆定位与精密测量设备。
光刻机及精密运动平台。
纳米级位移测量系统。
高精度光学检测设备。
精密机械加工及运动控制。
实验室精密计量仪器。
高端工业自动化设备。
❓ 常见问题 Q&A
Q1：ZYGO ZMI-4004主要用于什么设备？
A：主要用于ZYGO激光位移干涉测量系统，适合半导体制造、精密定位及纳米级运动测量设备。
Q2：ZMI-4004支持多少个测量轴？
A：ZYGO官方规格资料显示，每块ZMI-4004支持4个测量轴。
Q3：该板卡采用什么接口？
A：采用6U VME总线结构，同时支持光纤测量信号输入及HSSDC参考信号连接。
Q4：ZMI-4004的测量精度是多少？
A：在双程干涉测量条件下，位置分辨率可达到0.15 nm。
Q5：该板卡可以安装在普通PCI机箱中吗？
A：不可以直接安装在普通PCI机箱中，需要匹配相应的VME机箱及背板。
Q6：更换板卡时需要注意什么？
A：应确认板卡硬件版本、VME背板配置、光纤接口、激光源型号及系统软件兼容性。
🔩 ZYGO相关产品型号推荐
以下为ZYGO ZMI精密测量系统及配套产品型号，适合拓展同品牌产品目录：
ZMI-2400 – Precision Measurement Board
ZMI-4004 – Measurement Electronics Board
ZMI-4104 – Multi-Axis Measurement Board
ZMI-4104C – Measurement Board
ZMI-501A – Displacement Measurement System
ZMI Go! – Measurement Electronics
7702 – ZMI Laser Source
7705 – ZMI Laser Source
7712 – Laser Head
7714 – ZMI Laser Source
7724 – ZMI Laser Source
ZMI 2400 Measurement Board
ZMI 4004 Measurement Electronics
ZMI 4104 Measurement Electronics
ZMI Interferometer – Displacement Measurement System
注：以上包含测量板卡、激光源及配套干涉测量产品，并非全部为独立板卡型号或ZMI-4004的直接替代品。
产品关键词： ZYGO ZMI-4004、Dual Axis Measurement Board、6U VME Board、Precision Measurement、Laser Interferometer、Displacement Measurement、Nano Positioning、半导体精密测量、激光干涉仪。
